随着时间的推移,无尘洁净室净化工程逐渐成长并广泛应用于各领域,各种技术术也在不断的创造和运用,由此产生了各种洁净室净化方式。将其概括可分为物理式净化方式、静电式净化方式、化学式净化方式、其他净化方式。
一、无尘洁净室物理式净化方式
1、吸附性过滤—活性炭,活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积,能与气体(杂质)充分接触,从而赋予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样,所有的分子之间都具有相互引力。
2、机械性过滤—hepa网,hepa(high efficiency particulate air filter),中文意思为空气过滤器,达到hepa标准的过滤网,对于0.3微米的有效率达到99.998%,hepa网的特点是空气可以通过,但细小的微粒却无法通过。hepa过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成,形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。
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无尘室系统制造符合规格之洁净空气,电子车间净化工程,连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端,无尘洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程:外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后,经由回风管道间,将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合,经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格,通过循环风扇或ffu带动无尘洁净室的气流循环带走微尘及热量,后经过超过滤网或过滤后,供应至fab区。
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